闭管软着陆扩散系统价格
采用闭管扩散的方式。碳化硅浆把石英舟放入石英管后再退出石英管,保证整个工艺过程完全不受外界环境干扰。系统整机清洁降低了石英制品清洗的频次。控制终端采用专业工控机配备进口温控仪表、质量流量计及完善的报警功能。**长恒温区,**大装片量。
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主要经营卧式扩散炉制造、管式PECVD销售、立式氧化扩散炉、石墨烯设备制造、LEC单晶炉。
单位注册资金单位注册资金人民币 1000 - 5000 万元。