卧式扩散炉制造

卧式扩散炉制造

应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，可用于2-6英寸工艺尺寸。