三瑞立式氧化扩散炉设备
应用领域:较大规模集成电路制造**设备,工艺时间短,生产效率高,具有出色的工艺性能,达到国际先进水平。产品优势:1、晶片直径8英寸2、产能(片/批次)150片3、晶片高速搬送系统,实现高吞吐量4、精密的热场控制,气体控制系统5、工艺周期短,生产效率高
三瑞立式氧化扩散炉设备
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主要经营卧式扩散炉制造、管式PECVD销售、立式氧化扩散炉、石墨烯设备制造、LEC单晶炉。
单位注册资金单位注册资金人民币 1000 - 5000 万元。